2012年10月4日 星期四

測試結果

將過昨天與今天兩天的測試,AFM系統工作正常,可以重新開放預約。

測試試片:AFM標準試片
測試時間:03/10/2012-04/10/2012
掃描範圍:40 x 40 micrometer
掃描模式:Contact AFM
掃瞄結果:



附註:經過超過半天的掃瞄,掃描品質仍然能夠維持。掃描期間也不太受外界干擾。不過即使經過長時間的掃瞄,壓電陶瓷的creep問題仍然嚴重(可以從上面兩張比較圖可以得知)。


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