Check Pumping:
pumping的情況不理想,逐步check並更換新的o-ring
* 將bellow管分離,check 十字管金屬的真空狀況,初抽3分鐘之後的真空值並不理想,因此更換新的o-ring後再次抽真空,P=2.3E-4 mbar 屬於正常情況。
* 將insert分離,check bellow管內的真空狀況,初抽約5分鐘內真空值可達到 P= 1.8E-4 mbar,之後持續至20分鐘,真空值可達到4.2E-5 mbar,屬於正常情況。
* with insert
初抽 5 mins,P=1.6E-2 mbar ~ 5.6E-3 mbar,真空狀況屬於正常範圍,持續1個半小時的抽氣,P= 3.6E-4 mbar。
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